IC 芯片名積體電路(Ied Circuit),它是將設(shè)計(jì)好的電路,以堆疊的方式組合起來,藉由這個(gè)方法,我們可以減少連接電路時(shí)所需耗費(fèi)的面積。
由此可見,芯片制造其實(shí)就是進(jìn)行原子級別的制造,精度要求非常苛刻,這也是為什么國內(nèi)無法生產(chǎn)CPU的原因。
芯片在結(jié)構(gòu)上分為三層。
第一,晶圓層。
從 IC 芯片的 3D 剖面圖來看,底部的部分就是晶圓,晶圓基板在芯片中扮演地基的角色。
第二,邏輯閘層。
在 IC 電路中,晶圓上面的部分叫做邏輯閘層,它是整顆 IC 中最重要的部分,藉由將多種邏輯閘組合在一起,完成功能齊的 IC 芯片,結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜。
第三,連接層。
邏輯閘上面還有一層連接層,不會有太復(fù)雜的構(gòu)造,這一層的目的是將邏輯閘需要連接的部分相連在一起,相當(dāng)于導(dǎo)線。
芯片中通常需要很多層連接層,是因?yàn)橛刑嗑€路要連結(jié)在一起,在單層無法容納所有的線路下,就要多疊幾層來達(dá)成這個(gè)目標(biāo)了。在這之中,不同層的線路會上下相連以滿足接線的需求。
如果要以油漆噴罐做精細(xì)作圖時(shí),我們需先割出圖形的遮蓋板,蓋在紙上,接著再將油漆均勻地噴在紙上,待油漆乾后,再將遮板拿開。
不斷的重復(fù)這個(gè)步驟后,便可完成整齊且復(fù)雜的圖形。制造 IC 就是以類似的方式,藉由遮蓋的方式一層一層的堆疊起來。
芯片在制造過程中分為四種步驟,雖然實(shí)際制造時(shí),制造的步驟會有差異,使用的材料也有所不同,但是大體上皆采用類似的原理。
這個(gè)流程和油漆作畫有些許不同,IC 制造是先涂料再加做遮蓋,油漆作畫則是先遮蓋再作畫。
第一步,金屬濺鍍:將欲使用的金屬材料均勻?yàn)⒃诰A片上,形成一薄膜。
第二步,涂布光阻:先將光阻材料放在晶圓片上,透過光罩,將光束打在不要的部分上,破壞光阻材料結(jié)構(gòu)。接著,再以化學(xué)藥劑將被破壞的材料洗去。
第三步,蝕刻技術(shù):將沒有受光阻保護(hù)的硅晶圓,以離子束蝕刻。
第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。
最后便會在一整片晶圓上完成很多 IC 芯片,接下來只要將完成的方形 IC 芯片剪下,便可送到封裝廠做封裝。
目前球主要晶圓代工廠有格羅方德、三星電子、Tower Jazz、Dongbu、美格納、IBM、富士通、英特爾、海力士、臺積電、聯(lián)電、中芯國際、力晶、華虹、德茂、武漢新芯、華微、華立、力芯,等等。
目前中國的芯片產(chǎn)業(yè)就是阻礙在這個(gè)地方,無法制造世界一流的芯片,很多同樣的芯片,國內(nèi)的僅僅可以拆裝一兩次就壞掉,而國外的芯片可以連續(xù)拆裝四五次,久而久之國產(chǎn)芯片成了劣質(zhì)的代名詞。
所以國外的芯片更加受歡迎,而國內(nèi)的國產(chǎn)芯片難有競爭力,目前國絕大部分芯片都靠進(jìn)口。
每年球半導(dǎo)體市場規(guī)模達(dá)3200億美元,球54%的芯片都出口到中國,但國產(chǎn)芯片的市場份額只占10%。
球77%的手機(jī)是中國制造,但其中不到3%的手機(jī)芯片是國產(chǎn)的。
我國芯片產(chǎn)業(yè)長期被國外廠商控制,不僅每年進(jìn)口需要消耗2000多億美元外匯,超過了石油和大宗商品,是第一大進(jìn)口商品。
由于發(fā)達(dá)國家的技術(shù)封鎖,很多高科技設(shè)備無法進(jìn)口受制于人的技術(shù)設(shè)備直接制約了我國信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,而我國每年不得不花費(fèi)兩千億美元的資金進(jìn)口。
可不要小看了兩千億,這可是實(shí)打?qū)嵉馁Y金,而國M2總額也才30萬億美元,所謂M2,就是國所有的現(xiàn)金流的總和,國人民沒有絲毫泡沫的真正的財(cái)富,財(cái)富并不是無窮無盡的。
半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)擁有上萬億美元巨大的市場。
芯片是未來眾多高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),芯片設(shè)計(jì)制造技術(shù)成為世界主要大國競爭的最重要領(lǐng)域之一。
而芯片生產(chǎn)設(shè)備又為芯片大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ),因此更是整個(gè)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)金字塔頂端的尖尖。
那么這些設(shè)備到底是什么什么設(shè)備呢?
1、光刻機(jī)
功能:在半導(dǎo)體基材上(硅片)表面勻膠,將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上,把器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上。
主要企業(yè)(品牌):
國際:荷蘭阿斯麥(ASML)公司、美國泛林半導(dǎo)體公司、日本尼康公司、日本公司、美國ABM公司、德國德國SUSS公司、美國MYCRO公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十八所、中國電子科技集團(tuán)第四十五所、上海機(jī)械廠、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司。
2、ICP等離子體刻蝕系統(tǒng)
設(shè)備功能:一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,一方面等離子體中的活性基團(tuán)與待刻蝕表面材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成可揮發(fā)產(chǎn)物;另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導(dǎo)和加速,實(shí)現(xiàn)對待刻蝕表面進(jìn)行定向的腐蝕和加速腐蝕。
主要企業(yè)(品牌):
國際:英國牛津儀器公司、美國Torr公司、美國Gatan公司、英國Quoru司、美國利曼公司、美國Pelco公司。
國內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司、中國科學(xué)院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創(chuàng)世威納科技。
3、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)
設(shè)備功能:平板電極間施加高頻電壓,產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層,放入式樣,離子高速撞擊式樣,實(shí)現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)刻蝕和物理撞擊,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的加工成型。
主要企業(yè)(品牌):
國際:日本Evatech公司、美國NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韓國JuSung公司、韓國TES公司。
國內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、中國電子科技集團(tuán)第四十八所。
4、離子注入機(jī)
設(shè)備功能:對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國維利安半導(dǎo)體設(shè)備公司、美國CHA公司、美國AMAT公司、Varian半導(dǎo)體制造設(shè)備公司(被AMAT收購)。
國內(nèi):北京儀器廠、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、沈陽方基輕工機(jī)械有限公司、上海硅拓微電子有限公司。
5、單晶爐
設(shè)備功能:熔融半導(dǎo)體材料,拉單晶,為后續(xù)半導(dǎo)體器件制造,提供單晶體的半導(dǎo)體晶坯。
主要企業(yè)(品牌):
國際:德國PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美國QUANTUM DESIGN公司、德國Gero公司、美國KAYEX公司。
國內(nèi):北京京運(yùn)通、七星華創(chuàng)、北京京儀世紀(jì)、河北晶龍陽光、西安理工晶科、常州華盛天龍、上海漢虹、西安華德、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、上海申和熱磁、上虞晶盛、晉江耐特克、寧夏晶陽、常州江南、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、沈陽科儀公司。
6、晶圓劃片機(jī)
該芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:把晶圓切割成小片。
主要企業(yè)(品牌):
國際:日本DISCO公司、德國OEG公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十五所、北京科創(chuàng)源光電技術(shù)有限公司、沈陽儀器儀表工藝研究所、西北機(jī)器有限公司(原國營西北機(jī)械廠709廠)、匯盛電子電子機(jī)械設(shè)備公司、蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、大族激光、深圳市紅寶石激光設(shè)備有限公司、武漢三工、珠海萊聯(lián)光電、珠?;浢萍?。
7、晶片減薄機(jī)
設(shè)備功能:通過拋磨,把晶片厚度減薄。
主要企業(yè)(品牌):
國際:德國G&a;a;N公司、日本DISCO公司、日本OKAMOTO公司、以色列Caek公司。
國內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、深圳方達(dá)研磨設(shè)備制造有限公司、深圳市金實(shí)力精密研磨機(jī)器制造有限公司、煒安達(dá)研磨設(shè)備有限公司、深圳市華年風(fēng)科技有限公司。
8、氣相外延爐
氣相外延爐設(shè)備功能:為氣相外延生長提供特定的工藝環(huán)境,實(shí)現(xiàn)在單晶上,生長與單晶晶相具有對應(yīng)關(guān)系的薄層晶體,為單晶沉底實(shí)現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準(zhǔn)備。氣相外延即化學(xué)氣相沉積的一種特殊工藝,其生長薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù),而且與襯底的晶向保持對應(yīng)的關(guān)系。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國CVD Equipnt公司、美國GT公司、法國Soitec公司、法國AS公司、美國Proto Flex公司、美國科特·萊思科(Kurt J.Lesker)公司、美國Applied Materials公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十八所、青島賽瑞達(dá)、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、北京金盛微納、濟(jì)南力冠電子科技有限公司。
9、分子束外延系統(tǒng)
此芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:分子束外延系統(tǒng),提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設(shè)備;分子束外延工藝,是一種制備單晶薄膜的技術(shù),它是在適當(dāng)?shù)囊r底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國Veeco公司、美國SVTAssociates公司、美國NBM公司、法國Riber公司、芬蘭Dstrunts公司、德國O公司、德國MBE-Kooen公司、英國Oxford Applied Research(OAR)公司。
國內(nèi):沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設(shè)備有限公司、沈陽科友真空技術(shù)有限公司。
10、氧化爐(VDF)
設(shè)備功能:提供要求的氧化氛圍,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體預(yù)期設(shè)計(jì)的氧化處理過程,為半導(dǎo)體材料進(jìn)行氧化處理,是半導(dǎo)體加工過程的不可缺少的一個(gè)環(huán)節(jié)。
主要企業(yè)(品牌):
國際:英國Thero公司、德國trothertherl solutions GH Co.KG公司。
國內(nèi):青島福潤德、北京七星華創(chuàng)、中國電子科技集團(tuán)第四十八所、青島旭光儀表設(shè)備有限公司、中國電子科技集團(tuán)第四十五所。
11、低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
設(shè)備功能:把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入LPCVD設(shè)備的反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜。
主要企業(yè)(品牌):
國際:日本日立國際電氣公司、
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十八所、上海馳艦半導(dǎo)體科技有限公司、中國電子科技集團(tuán)第四十五所、北京儀器廠、上海機(jī)械廠。
12、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)
設(shè)備功能:在沉積室利用輝光放電,使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),沉積半導(dǎo)體薄膜材料。
主要企業(yè)(品牌):
國際:日本Tokki公司、日本島津公司、美國Proto Flex公司、美國泛林半導(dǎo)體(LaResearch)公司、荷蘭ASM國際公司。
國內(nèi):北京儀器廠、中國電子科技集團(tuán)第四十五所、上海機(jī)械廠。
13、磁控濺射臺
芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:通過二極濺射中一個(gè)平行于靶表面的封閉磁場,和靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域,實(shí)現(xiàn)高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國Vaportech公司、美國AMAT公司、美國PVD公司、荷蘭Hauzer公司、英國Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德國公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十八所、北京儀器廠、沈陽中科儀器、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、科睿設(shè)備有限公司、上海機(jī)械廠。
14、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)
設(shè)備功能:通過機(jī)械研磨和化學(xué)液體溶解“腐蝕”的綜合作用,對被研磨體(半導(dǎo)體)進(jìn)行研磨拋光。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國Applied Materials公司、美國諾發(fā)系統(tǒng)公司、美國Rtec公司。
國內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、愛立特微電子。
15、引線鍵合機(jī)
設(shè)備功能:把半導(dǎo)體芯片上的Pad與管腳上的Pad,用導(dǎo)電金屬線(金絲)鏈接起來。
主要企業(yè)(品牌):
國際:德國TPT公司、美國奧泰公司、奧地利奧地利FK公司、馬來西亞友尼森(UNISEM)公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十五所、北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司、宇芯(成都)集成電路封裝測試有限公司(馬來西亞友尼森投資)、深圳市開玖自動化設(shè)備有限公司。
16、探針測試臺
芯片生產(chǎn)設(shè)備功能:通過探針與半導(dǎo)體器件的pad接觸,進(jìn)行電學(xué)測試,檢測半導(dǎo)體的性能指標(biāo)是否符合設(shè)計(jì)性能要求。
主要企業(yè)(品牌):
國際:美國QA公司、美國MicroXact公司、德國Ingun公司、韓國Ecopia公司、韓國Leeno公司。
國內(nèi):中國電子科技集團(tuán)第四十五所、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、瑞柯儀器、華榮集團(tuán)、深圳市森美協(xié)爾科技。
中國半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)要實(shí)現(xiàn)從落后走向引領(lǐng)的跨越,半導(dǎo)體制造裝備產(chǎn)業(yè)將是最重要也是最難的環(huán)節(jié),目前國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)水平遠(yuǎn)遠(yuǎn)無法和國外發(fā)達(dá)國家相比,想要在芯片產(chǎn)業(yè)上面站穩(wěn)腳跟,高科技設(shè)備制造技術(shù)水平必須達(dá)到世界一流水平,否則永遠(yuǎn)是美國韭菜。